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功率放大器驅(qū)動(dòng)壓電薄膜測(cè)試中應(yīng)用

更新時(shí)間:2020-06-15      瀏覽次數(shù):466

壓電材料是指受到壓力作用在其兩端面會(huì)出現(xiàn)電荷的一大類(lèi)單晶或多晶的固體材料,它是可以進(jìn)行能量轉(zhuǎn)換和信號(hào)傳遞的重要載體。壓電材料驅(qū)動(dòng)方式一般為激振蕩式驅(qū)動(dòng),利用正弦波振蕩器來(lái)激勵(lì)發(fā)聲,這就需要可輸出大功率的信號(hào)源進(jìn)行驅(qū)動(dòng)或激勵(lì)。

市面上一般的函數(shù)信號(hào)發(fā)生器無(wú)論是進(jìn)口的還是國(guó)產(chǎn)的,電壓輸出都是10Vpp-20Vpp,電流輸出很小,在驅(qū)動(dòng)各種壓電陶瓷材料測(cè)試時(shí)電壓以及功率都不夠,功率放大器就需要作為驅(qū)動(dòng)放大部分來(lái)配合信號(hào)源來(lái)工作。

   壓電薄膜材料是原子或原子團(tuán)經(jīng)過(guò)或?yàn)R射的方法沉積在襯底上而形成的,其結(jié)構(gòu)可以是費(fèi)靜態(tài)、多晶甚至是單晶。PZT薄膜是目前應(yīng)用廣泛的壓電材料之一,就是高壓電特性的PZT材料已經(jīng)被大量應(yīng)用在了揚(yáng)聲器、超聲成像探頭、超聲換能器、蜂鳴器和超聲電機(jī)等電子器件中。

早人們利用溶膠-凝膠法制備了PZT薄膜,并在MEMS器件中進(jìn)行實(shí)際應(yīng)用,如驅(qū)動(dòng)器、換能器和壓力傳感器。隨著薄膜制備技術(shù)的提高,開(kāi)始涌現(xiàn)出多種制備手段,并且也利用多種技術(shù)制備了PZT壓電薄膜,如磁控濺射技術(shù)、脈沖激光沉積技術(shù)(PLD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)和金屬化合物氣相沉積技術(shù)等。

某高校實(shí)驗(yàn)室需要驅(qū)動(dòng)的壓電薄膜材料主要工作在500KHz的頻率,電壓需要70V左右,電流需要2A左右,Aigtek技術(shù)工程師提供信號(hào)發(fā)生器+功率放大器的測(cè)試方案。

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信號(hào)發(fā)生器和放大器推薦的是泰克的AFG3000系列、ATA-4012高壓功率放大器,信號(hào)發(fā)生器輸出電壓幅度只有10Vp-p,連接功率放大器ATA-4012,輸出電壓達(dá)到了160Vpp,功率160W,頻率范圍是DC-1MHz,*驅(qū)動(dòng)測(cè)試需求,可直接進(jìn)行驅(qū)動(dòng)壓電薄膜材料。

另外Aigtek功率放大器可用于驅(qū)動(dòng)電容性、電感性負(fù)載,一般情況下,如果用交流電源驅(qū)動(dòng)含有電容器或電感線圈的負(fù)載,會(huì)導(dǎo)致來(lái)自負(fù)載一側(cè)的逆向電流。在這樣的情況下,用通常的電源的話可能無(wú)法驅(qū)動(dòng)。但是如果采用功率放大器來(lái)驅(qū)動(dòng),需要的高電壓、大電流也都可以實(shí)現(xiàn)。所以,對(duì)于壓電元件和電感線圈那樣的電容性·電感性負(fù)載,也能夠穩(wěn)定地運(yùn)行(輸出)。

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